產(chǎn)品特點:
?采用上進(jìn)氣下抽氣的方式,專利的抽氣擋板保證優(yōu)良的均勻性
?具有缺氣、壓力保護(hù)、電路保護(hù)等安全保護(hù)系統(tǒng)
?電極板用整塊鋁板中間鏤空,冷卻通道采用深鉆孔方式結(jié)合內(nèi)部特定位置截流,引導(dǎo)冷卻水按規(guī)定方向運(yùn)行,保證溫度均勻性
?采用兩路水路,分別單獨給真空腔體和干泵 確保冷卻效果
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?具有缺氣、壓力保護(hù)、電路保護(hù)等安全保護(hù)系統(tǒng)
?電極板用整塊鋁板中間鏤空,冷卻通道采用深鉆孔方式結(jié)合內(nèi)部特定位置截流,引導(dǎo)冷卻水按規(guī)定方向運(yùn)行,保證溫度均勻性
?采用兩路水路,分別單獨給真空腔體和干泵 確保冷卻效果