產(chǎn)品特點:
?采用上進氣下抽氣的方式,專利的抽氣擋板保證優(yōu)良的均勻性
?具有缺氣、壓力保護、電路保護等安全保護系統(tǒng)
?電極板用整塊鋁板中間鏤空,冷卻通道采用深鉆孔方式結(jié)合內(nèi)部特定位置截流,引導冷卻水按規(guī)定方向運行,保證溫度均勻性
?采用兩路水路,分別單獨給真空腔體和干泵 確保冷卻效果
MORE+
?具有缺氣、壓力保護、電路保護等安全保護系統(tǒng)
?電極板用整塊鋁板中間鏤空,冷卻通道采用深鉆孔方式結(jié)合內(nèi)部特定位置截流,引導冷卻水按規(guī)定方向運行,保證溫度均勻性
?采用兩路水路,分別單獨給真空腔體和干泵 確保冷卻效果