微流體器件微流體裝置需要親水性的表面以便于分析物可以持續(xù)平緩的流經(jīng) 
微通道到達這些器械上的探測和處理位置。這種流動可通過各種抽吸、電滲透、熱量、機械等方法來實現(xiàn)。微射流器件由疏水性的聚合材料（丙烯酸、聚苯乙烯、聚二甲基硅氧烷（PDMS））制成。由這些材料的疏水性導(dǎo)致的一個主要問題就是在微通道中捕集的氣泡抑制了液體的流動。即便通道用酒精和緩沖液處理過，仍存在氣泡問題。用等離子體處理可以氧化微通道的表面，使它們變成親水性，從而防止氣泡的形成。電動抽吸時的表面電荷密度同樣會影響流動速率。等離子體可以有效地促進帶電表面的電滲透流動。這是用等離子處理微流體器件的又一個好處。 
醫(yī)用導(dǎo)管-通過減少蛋白質(zhì)在導(dǎo)管上粘合來盡量減少凝血酶原，提高生物相容性。 
為了在提高體內(nèi)材料的生物相容性，必須解決凝血酶原（容易在表面凝結(jié)成血塊）的問題。許多沒有被改性的材料會促進蛋白質(zhì)的粘合進而形成了血塊。為了解決這個問題，經(jīng)常在體內(nèi)材料表面涂覆抗凝血酶涂層?？墒怯袝r候這些涂層不能很好的粘合在聚合物表面等離子清洗。等離子處理通過對表面進行特殊的改性從而大大提高了這些涂層的結(jié)合力度。這是通過活化惰性表面來實現(xiàn)的。這種處理的工藝取決于特定的基體材料、抗凝血酶的合成物以及期望的產(chǎn)品壽命。當(dāng)導(dǎo)管被植入到體內(nèi)后，血塊可能會繼續(xù)變大從而導(dǎo)致初期的導(dǎo)管移位。人們在這個問題上做了大量的工作，結(jié)果顯示等離子處理后的導(dǎo)管可以在原位上保持更長的時間。動物實驗表明，經(jīng)過等離子處理并涂上肝磷脂涂層后的聚亞胺酯導(dǎo)管在體內(nèi)留置30天后沒有蛋白質(zhì)粘附在上面；經(jīng)過等離子處理但沒有肝磷脂涂層的聚亞胺酯導(dǎo)管上粘附了很少量的蛋白質(zhì)；而沒有經(jīng)過任何處理的聚亞胺酯導(dǎo)管上面形成了大量的血栓。
藥物輸送-解決藥物粘附在計量腔壁上的問題 
帶有計量腔體的藥物輸送裝置不允許藥物粘附在其內(nèi)壁上。這樣可以確保藥物輸送過程的精確性。等離子可以在計量腔內(nèi)壁上涂敷一層很薄的碳氟涂層來確保其"不粘"性。通過等離子增加化學(xué)氣相沉積（PECVD）可以把這種涂層很容易的粘附在大多數(shù)材料表面的原理是在等離子體內(nèi)活化單體，誘導(dǎo)它們在基體的工作區(qū)域聚合。沉積涂層的表面性能取決于表面幾十納米的性質(zhì)。氣體等離子工藝通過在表面聚合碳氟化合物從而提供了一個值得信賴的、生物相容的、高可控性的綠色的降低材料表面活化能的方法。 
防止生物污染-提高體內(nèi)和體外醫(yī)療器械的生物相容性 
材料的表面能決定了浸潤性、可印刷性、化學(xué)穩(wěn)定性和生物污染等性能。通常，高表面能的材料是親水性的，對細胞和蛋白質(zhì)等生物材料是可浸潤的；低表面能的材料則表現(xiàn)出疏水和"不粘"的性質(zhì)。體內(nèi)和體外的醫(yī)療器械需要表面能夠阻止蛋白質(zhì)或細胞的粘附。重復(fù)使用的盛載生物廢料的容易必須能很容易的清空和清洗。這些例子說明它們的表面需要提高"不粘"和抗生物污染性能。等離子體通過鍍上一層碳氟化合物或環(huán)氧乙烷涂層來產(chǎn)生抗生物污染層。通過等離子增加化學(xué)氣相沉積（PECVD）可以把這種涂層很容易的粘附在大多數(shù)材料表面的原理是在等離子體內(nèi)活化單體，誘導(dǎo)它們在基體的工作區(qū)域聚合。沉積涂層的表面性能取決于表面幾十納米的性質(zhì)。氣體等離子工藝通過在表面聚合碳氟化合物從而提供了一個值得信賴的、生物相容的、高可控性的綠色的降低材料表面活化能的方法。