IC載板在線式PLASMA--雙腔全自動、無接觸
產品特點:
可選配自動上下料/連線,避免人員接觸產品,全自動方式減少了人為因素,降低二次污染并節(jié)約了人力成本。
設備清洗后其表面活性明顯增強,均勻性和粘結力顯著提升。
支持單張自動掃碼,方便追溯,支持MES系統對接
機器人直接抓取,避免傳送污染
PLASMA(全名:易捷載板在線式PLASMA)是一種全自動、無接觸的裝載板處理系統。它是一項先進的技術,可以廣泛應用于半導體制造和其他高科技領域,為工業(yè)生產帶來了巨大的便利和效益。
PLASMA系統采用雙腔結構,包括清洗腔和處理腔。在整個處理過程中,載板完全不接觸機械設備,由機器人自動操作,避免了人為因素對產品質量的影響,提高了生產效率和產品一致性。
PLASMA系統的主要功能是清洗和處理載板。在清洗腔中,載板會經過高壓噴洗和噴射的清洗溶液,去除表面的雜質和污染物。清洗過程非常徹底,可以保證載板的清潔度要求,同時減少后續(xù)處理過程中的不良率。
在處理腔中,PLASMA系統會使用高能離子束或等離子體技術,對載板進行精細處理。離子束可以改變載板表面的化學和物理特性,使其具有更好的附著力、耐磨性和電導率等特點,提高了載板的性能。等離子體技術可以對載板進行表面活化處理,增強載板與其它材料的黏附力,提高產品的整體工藝性能。
PLASMA系統的優(yōu)點不僅在于其全自動、無接觸的特性,還在于其處理能力和穩(wěn)定性。系統采用先進的控制技術,能夠精確控制處理過程的各項參數,保證了處理效果的一致性。而且,PLASMA系統的處理腔具有高真空環(huán)境,可以確保載板在無塵的條件下進行處理,減少了載板的再次污染。
PLASMA系統的應用非常廣泛。在半導體制造領域,PLASMA系統可以用于清洗和處理半導體晶片的載板,提高晶片的質量和性能;在太陽能電池制造領域,PLASMA系統可以用于提高電池片的表面特性,提高電池的能量轉換效率;在平板顯示器制造領域,PLASMA系統可以用于清洗和處理液晶載板,提高顯示屏幕的清晰度和亮度。
總之,PLASMA(易捷載板在線式PLASMA)是一種先進的裝載板處理系統,采用雙腔結構,全自動、無接觸地進行載板清洗和處理。該系統具有高效、穩(wěn)定的性能,廣泛應用于半導體制造和其他高科技領域,為工業(yè)生產帶來了便利和效益。