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等離子清洗機(jī)

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舒蘭IC載板在線式PLASMA--雙腔全自動(dòng)、無接觸

舒蘭IC載板在線式PLASMA--雙腔全自動(dòng)、無接觸

  • 所屬分類:舒蘭3IC載板在線式PLASMA
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  • 發(fā)布時(shí)間:2023-09-22 15:38:46
  • 產(chǎn)品概述

IC載板在線式PLASMA--雙腔全自動(dòng)、無接觸


產(chǎn)品特點(diǎn):

可選配自動(dòng)上下料/連線,避免人員接觸產(chǎn)品,全自動(dòng)方式減少了人為因素,降低二次污染并節(jié)約了人力成本。

設(shè)備清洗后其表面活性明顯增強(qiáng),均勻性和粘結(jié)力顯著提升。

支持單張自動(dòng)掃碼,方便追溯,支持MES系統(tǒng)對(duì)接

機(jī)器人直接抓取,避免傳送污染


PLASMA(全名:易捷載板在線式PLASMA)是一種全自動(dòng)、無接觸的裝載板處理系統(tǒng)。它是一項(xiàng)先進(jìn)的技術(shù),可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他高科技領(lǐng)域,為工業(yè)生產(chǎn)帶來了巨大的便利和效益。


PLASMA系統(tǒng)采用雙腔結(jié)構(gòu),包括清洗腔和處理腔。在整個(gè)處理過程中,載板完全不接觸機(jī)械設(shè)備,由機(jī)器人自動(dòng)操作,避免了人為因素對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品一致性。


PLASMA系統(tǒng)的主要功能是清洗和處理載板。在清洗腔中,載板會(huì)經(jīng)過高壓噴洗和噴射的清洗溶液,去除表面的雜質(zhì)和污染物。清洗過程非常徹底,可以保證載板的清潔度要求,同時(shí)減少后續(xù)處理過程中的不良率。


在處理腔中,PLASMA系統(tǒng)會(huì)使用高能離子束或等離子體技術(shù),對(duì)載板進(jìn)行精細(xì)處理。離子束可以改變載板表面的化學(xué)和物理特性,使其具有更好的附著力、耐磨性和電導(dǎo)率等特點(diǎn),提高了載板的性能。等離子體技術(shù)可以對(duì)載板進(jìn)行表面活化處理,增強(qiáng)載板與其它材料的黏附力,提高產(chǎn)品的整體工藝性能。


PLASMA系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)不僅在于其全自動(dòng)、無接觸的特性,還在于其處理能力和穩(wěn)定性。系統(tǒng)采用先進(jìn)的控制技術(shù),能夠精確控制處理過程的各項(xiàng)參數(shù),保證了處理效果的一致性。而且,PLASMA系統(tǒng)的處理腔具有高真空環(huán)境,可以確保載板在無塵的條件下進(jìn)行處理,減少了載板的再次污染。


PLASMA系統(tǒng)的應(yīng)用非常廣泛。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,PLASMA系統(tǒng)可以用于清洗和處理半導(dǎo)體晶片的載板,提高晶片的質(zhì)量和性能;在太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域,PLASMA系統(tǒng)可以用于提高電池片的表面特性,提高電池的能量轉(zhuǎn)換效率;在平板顯示器制造領(lǐng)域,PLASMA系統(tǒng)可以用于清洗和處理液晶載板,提高顯示屏幕的清晰度和亮度。


總之,PLASMA(易捷載板在線式PLASMA)是一種先進(jìn)的裝載板處理系統(tǒng),采用雙腔結(jié)構(gòu),全自動(dòng)、無接觸地進(jìn)行載板清洗和處理。該系統(tǒng)具有高效、穩(wěn)定的性能,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他高科技領(lǐng)域,為工業(yè)生產(chǎn)帶來了便利和效益。


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