ALD原子層沉積設備安裝
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ALD（AtomicLayerDeposition）是一種通過原子層沉積技術在晶體表面逐層沉積原子薄膜的方法。ALD原子層沉積設備是用于實施ALD薄膜制備的關鍵設備，它通過控制反應物流和氣體流動，實現(xiàn)在晶體表面逐層堆積原子以形成所需的薄
